所有设备、管道、阀门等。使用高纯氯化氢气体在使用前应进行烘烤和抽真空，使其保持无水和密封状态。当设备暂时不使用时，应释放HCl并用干燥的惰性气体填充。
    当高纯氯化氢气体泄漏时，用聚乙烯罩和尼龙软管盖住泄漏部分。将气体引入水中吸收，然后用熟石灰中和。泄漏液体时，用大量水充分吸收。当大量气体喷出时，从远处被喷雾状的水吸收。废水被水吸收后，被苛性钠、碳酸氢钠、纯碱、熟石灰等碱性物质中和。
    为了合理使用高纯氯化氢气体，相关工作人员必须掌握防护措施和各种注意事项，以保证工作人员的安全，使高纯氯化氢气体得到最好、最充分的利用。